实验简介

    半导体激光器件参数测量系统是以《半导体器件物理》、《激光原理》为指导教材，针对理工科电子科学与技术专业、光电子专业、微电子专业的教学计划，开发的一套专业教学系统。半导体发光器件参数测量实验的教学目的是使学生掌握半导体器件的基本结构、物理原理和特性，熟悉半导体激光器的工艺和参数测试，为进一步学习相关的专业课程打下坚实基础。同时，RealLight?的半导体器件参数测量系统也可为广大科研用户提供半导体激光器参数测试平台。

实验内容

1、半导体激光器封装结构实验；

2、半导体测试仪安装培训；

3、半导体激光器P-I-V特性曲线测试；

4、半导体激光器内参数及效率测试；

5、半导体激光器背光电流测试；

6、半导体激光器光谱测试；

7、半导体测试仪数据库调用与分析；

详细介绍：

知识点

半导体激光器、阈值电流Ith、工作电流Io、工作电压Vo、背光电流PD、串联电阻Rt、斜率效率Es、光电效率Ep、激光功率的线性度PL、背光电流的线性度PDL、温度控制器电压Vtec、温度控制器电流Itec、激光器管芯温度Tc、I-V特性温度依赖关系、中心波长、光谱宽度、光纤耦合。

主要设备参数

1. 光功率的波长范围808-980nm，分辨力0.01W，准确度正负2%(用标准光源和标准功率计比)，重复性（用SMS905/FC等标准测试条件,(最大值-最小值)/平均值<=1%）；

2.测试仪制冷水箱：制冷量300W，温度分辨率0.1，0.1℃,控温范围5~35℃,流量4L/min,外形4Ux450

3. 电压的分辨力（0.01V），准确度（0.01V）；电流的分辨力（0.01A），准确度（0.02A+2%）；TEC温度的分辨力（0.1度），恒流条件下热平衡后，显示值-设定值的差小于0.2度；激光器内部PD电流测量的分辨力（1uA）；

4. 光谱测量的波长范围785nm至980nm(其它波长可订制)；光谱测量的中心波长的分辨力0.1nm，准确度0.2nm，重复性0.1nm；光谱测量的半高全宽的分辨力0.1nm，重复性5%

5.探测器组件：响应波长400-1100nm，硅光电池，修正光谱响应曲线。

6. 光纤光谱仪：3648像素CCD光谱仪 , 包括IB光栅（600线/mm），可测光谱范围500-1100nm，分辨率0.3nm，狭缝：10微米狭缝。

7.工控机组件：19寸标准机箱封装，win7 32位系统

8.反射式积分球，F4涂层，  360-1650nm波长范围反射率95%以上，380-780nm内反射率更高。内径Φ150mm  外尺寸160*160*160mm，三个孔包括入光口、PD检测口、光谱检测口，尺寸分别为Φ10mm、Φ25mm、Φ25mm。

9．软件组件：进行PIV测试，绘制PIV曲线，检测激光器输出功率Po、阈值电流Ith、工作电流Io、工作电压Vo、背光电流PD、串联电阻Rt、斜率效率Es、激光功率的线性度PL、背光电流的线性度PDL、可测光谱中心波长、光谱宽度、峰值波长、可直接输出软件数据。

10.半导体激光器测试样品：2针光纤耦合半导体激光器，中心波长830nm，多模光纤输出，芯径60um，输出功率大于1W；9针光纤耦合半导体激光器，中心波长808nm，输出功率大于2W，带TEC温控，带PD探测器。