模块
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描述
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占用插槽
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主要特点
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4200-SMU
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中功率 SMU
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1
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±210 V，±100 mA，四象限操作
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最低测量分辨率 0.1 μV，100 fA
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选配的预放大器将测量分辨率扩大至 0.1 fA
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超低频率 C-V 和准静态 C-V 测量
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4210-SMU
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高功率 SMU
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1
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±210 V，±100 mA，四象限操作
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最低测量分辨率 0.1 μV，100 fA
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选配的预放大器将测量分辨率扩大至 0.1 fA
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超低频率 C-V 和准静态 C-V 测量
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4210-PA
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远程预放大器
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选配的预放大器将中功率和高功率 SMU 的测量分辨率扩大至 0.1 fA
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4210-CVU
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多频电容-电压设备
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1
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交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t）
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1 kHz - 10 MHz 频率范围
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±30 V（60 V 差分）内置直流偏置以及使用 SMU/CVU 电源套件时的 210 V（420 差分）直流偏置
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内置置信度检查功能，确人 DUT 连接的完整性
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将交流安培计和直流偏置移到备用 DUT 端子时无需重新布线
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4225-PMU
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超快 I-V 设备
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1
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超快脉冲 I-V，同时提供电压和电流测量
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每个仪器模块均具有两条独立或同步通道
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±40 V 最大，电流范围为 100 μA 至 800 mA
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选配的 4225-RPM 将电流范围扩大至 100 nA
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不进行电压和电流测量时，最低脉冲宽度为 20 ns
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进行电压和电流测量时，最低脉冲宽度为 60 ns
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瞬态捕获（示波器模式）
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多电平分段任意波形功能，高达 2048 段
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4225-RPM
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远程放大器开关
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远程放大器/开关模块将 4225-PMU 的电流范围扩大至 100 nA
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无需重新布线即可自动在 I-V、C-V 和脉冲式 I-V 测量之间切换
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4220-PGU
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脉冲发生器设备
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1
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双通道电压脉冲发生器
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多电平分段任意波形发生器，高达 2048 段
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±40 V 最大，电流范围为 100 μA 至 800 mA
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10 ns 分段定时分辨率
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