S530 参数化测试系统适用于必须操作各种设备和技术的生产和实验室环境，提供业界领先的测试计划灵活性、自动化、探头测试台集成以及测试数据管理功能。Keithley 拥有超过 30 年的专业经验，针对这些测试解决方案的设计向全世界的客户提供各种标准和自定义参数化测试仪。

S500 集成式测试系统是高度可配置的、基于仪器的系统，适用于器件、晶片或暗盒级半导体检定。S500 集成式测试系统基于我们经过验证的仪器，提供创新的测量功能和系统灵活性，并且根据您的需求可进行扩展。独有的测量能力结合强大而灵活的自动化检定套件 (ACS) 软件，提供市场上其他同类系统无法提供的广泛应用和功能。

S530 功能

• 能轻松适应新设备和测试要求
• 快速、灵活、交互式测试计划制定
• 兼容于常见的全自动探头测试台
• 提供 1kV、C-V、脉冲生成、频率测量和低压测量选项
• 兼容于 Keithley 的 9139A 型探头卡适配器
• 支持重复使用现有的五英寸探头卡库
• 经验证的仪器技术确保在实验室和工厂中实现高测量精度和可重复性

S500 功能

• 全量程源测量单元 (SMU) 仪器技术规格，包括 subfemtoamp 测量，确保在几乎任何设备上都能执行广泛的测量。
• 适用于内存检定、电荷泵、单脉冲 PIV（电荷陷阱分析）和 PIV 扫描（自加热回避）的脉冲生成和超快 I-V。
• 利用支持 Keithley 系统的可扩展 SMU 仪器，提供低或高通道数系统，包括并行测试。
• 适用于测试功率 MOSFET 和显示驱动器等测试器件的高电压、电流和功率源测量仪器。
• 开关、探头卡和布线保证系统完全适用于您的 DUT。